T12B-14 T20A-18 T50系列 T120A-30 T165A-26 SR4B
工業清潔機器人 底盤合裝型移動機器人 新能源電池行業移動機器人 輔助裝配型移動機器人 叉式搬運移動機器人 重載型移動機器人
桁架機器人 核應急機器人 探龍系列蛇形臂機器人 重載垂直多關節機器人 智能布設/回收機器人 長臂展機器人
TSS-3000 EFEM 真空機械手 Archer 系列 真空傳輸平臺Diagram 600 真空機械手PHOENIX B系列 真空機械手PHOENIX-S25系列 真空機械手PHOENIX PLUS B系列
GCR系列GCR25-1800 GCR系列GCR10-2000 GCR系列GCR7-910 GCR系列GCR12-1300 GCR系列GCR3-618 GCR系列GCR5-910
座椅標準系列激光焊接系統 三維五軸激光切割機 激光拼焊生產線 縱剪機組自動換刀單元 剪板機機器人自動上下料單元
自動檢票機(AGM) 自動售票機(TVM) 互聯網售票機(iTVM) 智能客服中心 自助客服一體機(iBOM) 自動駕駛機器人
醫院物品配送機器人 室內巡檢機器人 智能助行器 電動站立助行器 下肢可穿戴訓練器 下肢動力外骨骼機器人
汽車焊裝生產線 前、后懸總成底盤合裝移動機器人解決方案 新能源車載充電器OBC生產線 新能源電驅動裝配線
鋰電銅箔制造智能物流 鋰電行業移動機器人解決方案 鋰電智能物流系統解決方案 鋰電化成分容生產測試系統
刮板輸送機結構件自動化焊接生產線 集裝箱底部托盤柔性化焊接工作站 工業機器人船舶智能焊接解決方案 廂式物流車廂體智能生產線
機器人+智慧康養 醫藥領域智能物流解決方案 多場景物流配送機器人解決方案 智能康養系統解決方案
工業機器人液晶電視綜合解決方案 智能化服務器制造生產線
LNG罐箱智能產線 輪胎行業智能物流解決方案 石化領域智能物流解決方案
工業機器人鋼結構智能焊接系統 天窗&門環產品激光拼焊線
自動售檢票(AFC系統) 綜合監控(ISCS系統) 環境與設備監控(BAS系統) 智慧出行平臺
工業機器人教育實訓系統 協作機器人智能教室
智能車間星衛來機器人清潔方案 成品面箱自動化輸送碼垛系統 家居木門全自動化裝備生產線 復合機器人煙草機械行業解決方案
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一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制,擁有新松自主研發的控制器,Aligner,方便在視窗觀察的可拆卸單元門,易移動框架,帶有隔離的風扇 過濾系統,可拆分的設備結構,從而保證設備潔凈、可靠的運行。
直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。
作為半導體制造生產線的必要設備,本平臺一般包含在整套半導體制造設備系統之中,是硅片盒(Cassette)到工藝腔(CVD,ALD,PVD等)之間的硅片搬送系統。
具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能,可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性使用要求。
具有先進的防碰撞保護功能及動態糾偏功能機器人具有更卓越的動力性能,可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性、高溫工況使用要求。
SEMI認證S2、F47 接口可用戶定制
LoadPort是新松公司自主研發的一種晶圓裝載裝置,可安裝在EFFM上,適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載,具備準確的mapping功能,可自動識別盒內晶圓各槽狀態,如單片、跨片、異常片,通過獨創的開關門機構和精確的運動控制,實現了高清潔性能,同時具有良好的穩定性和速度。
SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置,適用于6寸和8寸晶圓盒的自動開關盒,效率高,穩定性好,重復定位精度高,潔凈等級為Class1;具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能,能自動檢測盒內各槽晶圓狀態,例如單片、跨片;具有開盒時自動識別盒內晶圓尺寸的功能,更加便于使用;具有靈敏的晶圓滑出保護功能,可以自動監測盒內異常狀況,有效保護晶圓;具有實時檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能,可以有效保護機械手以及人身安全;具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設計制造,推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內半導體設備的發展。
立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端,適用于FOUP的轉運 、暫存和開盒。
高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。
高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護,Mapping功能,SEMI認證,提供接口及末端定制
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